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    如图1至图3所示，一种晶圆搬运机械手，包括升降轴1、旋转轴2和伸展轴3，所述的伸展轴3包括伸展电机34、一级伸展臂31、二级伸展臂32和手指固定座33，所述的一级伸展臂31与所述伸展电机34之间设置有一级关节5，所述的一级伸展臂31与所述的二级伸展臂32之间设置有二级关节6，所述的二级伸展臂32和所述的手指固定座33之间设置有三级关节7。所述的伸展电机34通过谐波减速机35驱动所述一级伸展臂31转动。所述的伸展电机34、所述的一级关节5、所述的二级关节6和所述的三级关节7依次传动，所述的一级关节5、所述的二级关节6和所述的三级关节7的传动比为1:2:1，根据本机械手的运动原理，所述的手指固定座34始终保持直线运动。所述的一级关节5上设置有一级同步轮51，所述的二级关节6上设置有二级同步轮61，所述的一级同步轮51和所述的二级同步轮61通过一级同步带52传动连接，所述的一级伸展臂31内还设置有与所述一级同步带52相配合的一级张紧轮53。所述的二级关,6上设置有三级同步轮62，所述的三级关节7上设置有四级同步轮71，所述的三级同步轮63和所述的四级同步轮71通过二级同步带64传动连接，所述的二级伸展,32内还设置有与所述二级同步带64相配合的二级张紧轮63。溧水区常见气动悬臂吊推荐厂家！连云港多功能气动悬臂吊品牌

    移动夹板6的侧壁上对称贯穿开设有两个螺纹孔，两个转杆17分别与两个螺纹孔相互啮合，固定夹板5的顶壁上同样开设有转槽，转槽内同样设有限位板18，两个转杆17远离移动夹板6的一端贯穿固定夹板5的顶壁并延伸至转槽内，两个转杆17远离移动夹板6的一端分别安装在限位板18的顶壁上，转杆17转动时通过与移动夹板6的啮合可将移动夹板6向固定夹板5处移动，移动夹板6与固定夹板的相互配合可将板材进行夹取，固定夹板5与移动夹板6相对一侧的侧壁上均安装有防滑齿21，防滑齿21可将板材更稳定的进行夹取。本发明中，本发明中，分别将第1电机2和第二电机3接通电源，先将第二电机3进行正转，第二电机3转动时带动第1转盘11转动，第1转盘11通过三角形传动件14可将两个第二转盘12进行转动，同时两个第二转盘12上均安装的转杆17可与移动夹板6进行啮合，因此转杆17转动时可迫使移动夹板6向固定夹板5进行移动，进而在固定夹板5与移动夹板6的相互配合下可对板材进行夹紧，固定夹板5与移动夹板6上安装的防滑齿21可防止板材滑落，增加稳定性，将板材夹紧后，打开第1电机2并将第1电机2进行正转，第1电机2通过驱动端安装的斜齿轮8可将蜗杆9进行旋转。溧阳多功能气动悬臂吊哪家有浦口区工业气动悬臂吊推荐厂家！

    本发明能够有效解决现有技术中机械手运行速度低，定位精度差的问题。本机械手包含3个轴，分别为升降轴、旋转轴和伸展轴，其中伸展轴又包含3个关节，三个关节分别为一级关节、二级关节和三级关节，三个关节之间的传动比为1:2:1，伸展电机通过谐波减速机驱动一级伸展臂转动，通过一级关节、二级关节和三级关节之间设置有传动结构，同时带动二级伸展臂和手指固定座的移动，间接将第1级关节远端的一级同步带轮变为主动轮，通过这种结构，可以在一级伸展臂和二级伸展臂移动时，保持手指固定座的始终直线运动，既晶圆中心始终保持直线运动，晶圆的角度也保持不变。这种结构还提高了机械手整体强度，达到高速度运行和重复定位精度高的双重目的。与现有技术相比，本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动，且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力，同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定，维护方便，多功能集一身，可满足多种工艺设备要求，适用于各种半导体设备。附图说明图1是本发明示意图。图2是本发明伸展轴示意图。图3是本发明伸展轴内部俯视示意图。具体实施方式下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细描述。实施例1。

    抓取运动的物件）情况，决定了手指是的大小、形状、个数、种类配置和动作，而这些又决定了手指的抓取机能（即该手指能抓取的极限尺寸；手指对物件的约束和握紧程度；抓取精度-定位精度等）。2、手指的种类机械手的手指有机械式和吸盘式两种形式。人手抓取物件时，手指常与手掌相对握紧。机械式手指没有手掌，全靠手指握紧物件；而吸盘式手指则刚好相当于只有手掌吸附物件。机械式手指的应用比较。机械式手指常按指根的动作及手指的数目或手指的形状进行分类。（1）按指根的动作不同分类回转型手指：手指的张开与闭合是靠指根的回转动作完成的。无关节手指的本体是一个直构件；固定关节指的本体是一个弯构件，即在指的中间处形成一个“V”形关节角；而自由关节指的本体在中间分开，指根与指尖是由铰链连接的。直进型手指：手指的张开与闭合是靠手指的直接动作完成的。这种手指也可分为无关节指和自由关节指。有时还把无关节指、固定关节指、自由关节指相互组合而成为混合手指。（2）按手指抓取部分的形状分类有圆弧形的、锯齿形的、钩形的和平板形的等等。3、典型表面与手指的接触状态虽然被抓取物件的形状和尺寸是多种多样的，但是从抓取的角度来看。栖霞区包装袋气动悬臂吊推荐厂家！

    还具备配置于所述槽部的第2粘接剂，利用所述第2粘接剂将所述外周部和所述散热器粘接起来。由此，盖体和散热器通过快速装配机构和粘接剂这两者固定在一起。一技术方案的电动助力转向装置具备上述电动驱动装置，所述电动驱动装置能够产生辅助转向扭矩。由此，能够抑制电动驱动装置所具备的磁传感器的温度上升。另一技术方案的电动驱动装置具备：电动马达，其包含轴、与所述轴连动的马达转子、具有使所述马达转子旋转的定子芯的马达定子、每3相至少分成第1线圈组和第2线圈组这两个系统且用3相交流电对所述定子芯进行励磁的多个线圈组、以及在内侧收纳所述马达转子、所述马达定子和所述多个线圈组的筒状的壳体；电子控制装置，其是为了对所述电动马达进行驱动控制而设置的，包含设于所述轴的靠负载相反侧的端部的磁体、以及位于所述轴的负载相反侧且配置在所述轴的轴向的延长线上的电路基板；第1线圈布线，其将所述第1线圈组和所述电路基板连接起来；第2线圈布线，其将所述第2线圈组和所述电路基板连接起来；散热器，其具有第1面和位于所述第1面的相反侧的第2面，该散热器在所述第1面侧支承所述电路基板；以及环状的壁部，其配置在所述第1面与所述电路基板之间。六合区粉尘气动悬臂吊推荐厂家！连云港多功能气动悬臂吊品牌

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    从而使夹持件103呈打开状态。固定夹1031与转动夹1032远离支架102的一端均为弧形壁板。这两个弧形壁板相面对的一侧在夹持件103闭合状态时形成一个容纳舱壁助力扶手a的空间。该空间有四个沿圆周方向等间隔排列的圆弧形凹槽组成，这样的设计适应于目前舱壁助力扶手a的横截面均为如图3所示的长圆形截面的特点。而转动夹1032用于构成容纳舱壁助力扶手a的空间的弧形壁板为两段结构。如图4所示，当舱壁助力扶手a垂直于支架102置于固定夹1031与转动夹1032之间的空间中时，扶手a的两端卡在空间的上下两个圆弧形凹槽中。如图5所示，当舱壁助力扶手a平行于支架102置于固定夹1031与转动夹1032之间的空间中时，舱壁助力扶手a的两端卡在该空间的左右两个圆弧形凹槽中。锁定板104分为两部分结构，一部分较薄，便于航天员转动；另一部分较厚且空心，并在图3中上侧设置多个相间排列的槽。锁定板104较厚的一部分铰接在固定夹1031远离支架102的一端。而由图2可知，转动夹1032远离支架102的一端为扁的齿型结构(图中未示出)，齿的尺寸和数量恰好与锁定板104较厚部分的槽对应。结合图4和图5，在锁定时，航天员向上拨动锁定板104较薄的部分使其顺时针转动，当转动90°时。连云港多功能气动悬臂吊品牌